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鍍膜儀的一般故障處理方式解析

更新時間:2022-09-08  |  訪問量:1078
   在利用掃描電鏡分析非導(dǎo)電樣品時,因為樣品的不導(dǎo)電性,會在樣品表面累積電離子,因此在成像過程中會產(chǎn)生大量的放電現(xiàn)象,嚴(yán)重影響圖像質(zhì)量。因此在觀察非導(dǎo)體時一般都要事先用鍍膜儀在試樣表面上蒸涂(沉積)一層重金屬導(dǎo)電膜,這樣既可以消除試樣荷電現(xiàn)象,又可以增加試樣表面導(dǎo)電導(dǎo)熱性,減少電子束造成的試樣(如高分子及生物試樣)損傷、提高二次電子發(fā)射率。
  鍍膜儀當(dāng)接通高壓,陰極發(fā)射電子,電子能量增加到1-3kev,轟擊低真空中(3-10pA)的氣體,使其電離,激發(fā)出的電子在電場中被加速,繼續(xù)轟擊氣體,產(chǎn)生聯(lián)級電離,形成等離子體。離子以1-3kev的能量轟擊陰極靶,當(dāng)其能量高于靶材原子的結(jié)合能時,靶材原子或者原子簇,脫離靶材,又經(jīng)過與等離子體中的殘余氣體碰撞,因此方向各異,當(dāng)落在樣品表面時,可以在粗糙的樣品表面形成厚度均一的金屬薄膜,而且與樣品的結(jié)合強度高。如果工作室中的氣體持續(xù)流動,保持恒定壓力,這時的離子流保持恒定。高壓的功率決定了大離子流,一般有大離子流限制,用于保護高壓電源。
  鍍膜儀的一般故障處理:
  1.使用一段時間后濺射電流變小
  處理:對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進行檢查。前兩者對靶材進行更換,后者被油蒸汽污染,通過無水乙醇進行清潔,等干了后才能夠抽真空。
  2.使用一段時間后有過低的真空
  處理:對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進行檢查,能夠使用汽油進行清洗。
  3.濺射電流忽高忽低
  處理:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn),對間距進行調(diào)整。
  4.有著過低的真空
  處理:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
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